 | 型号：S4800 厂家：日本Hitachi | |
主要用途 | 该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察，点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置，因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应，适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品（有机、高分子、生物样品等）的表面高分辨成像。 | |
| 主要配置 | 电子束减速装置 | |
| 性能指标 | 1、二次电子图像分辨率 | ≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm) ≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式) ≤1.4nm 保证(照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置) 放大倍率：20~800,000× |
| 2、样品台 | S-4800型 X 0-50 mm Y 0-50 mm Z 1.5-30 mm T -5°~ + 70° R 360° 最大样品尺寸（直径） 100mm 样品台控制 五轴马达驱动 | |
