 | 型号：Inspect S 厂家：美国FEI | |
| 主要用途 | 在高真空、低真空环境对样品各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。 | |
| 性能指标 | 1.加速电压：200V-30 kV | 2.放大倍数：7-1,000,000 |
| 3.可在高真空、低真空（270Pa) 下观察样品 | ||
| 样品室 | 284mm | |
| 分辨率 | 高真空 - 3.0nm at 30kV (SE) - 4.0nm at 30kV (BSE) - 10.0nm at 3kV (SE | 低真空 - 3.0nm at 30kV (SE) - 12.0nm at 3kV (SE) |
